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Extreme Ultraviolet Lithography

de Harry J. Levinson
idioma: inglês
Editor: SPIE PRESS, dezembro de 2020 ‧
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Covers the many aspects of lithographic technology that needed to be addressed in order to make EUV lithography ready for high-volume manufacturing: exposure tools, light sources, masks, resists, process control, metrology, and computational lithography. Each topic is approached from the perspective of a practicing lithographer.

Extreme Ultraviolet Lithography

de Harry J. Levinson

Propriedade Descrição
ISBN: 9781510639393
Editor: SPIE PRESS
Data de Lançamento: dezembro de 2020
Idioma: Inglês
Dimensões: 252 x 176 x 16 mm
Encadernação: Capa mole
Páginas: 245
Tipo de produto: Livro
Coleção: Spie Press Monographs
Classificação Temática: Livros em Inglês > Engenharia > Eletricidade e Energia
Livros em Inglês > Outros
EAN: 9781510639393