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Research On Chemical Mechanical Polishing Mechanism Of Novel Diffusion Barrier Ru For Cu Interconnect
idioma: inglês
Editor:
SPRINGER VERLAG, SINGAPORE, Janeiro de 2019 ‧
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SINOPSE
This thesis addresses selected unsolved problems in the chemical mechanical polishing process (CMP) for integrated circuits using ruthenium (Ru) as a novel barrier layer material.
DETALHES
| Propriedade | Descrição |
|---|---|
| ISBN: | 9789811355851 |
| Editor: | SPRINGER VERLAG, SINGAPORE |
| Data de Lançamento: | Janeiro de 2019 |
| Idioma: | Inglês |
| Dimensões: | 155 x 235 x 20 mm |
| Encadernação: | Capa mole |
| Páginas: | 137 |
| Tipo de produto: | Livro |
| Coleção: | Springer Theses |
| Classificação Temática: |
Livros em Inglês
>
Engenharia
>
Engenharia Geral
Livros em Inglês > Engenharia > Engenharia Mecânica |
| EAN: | 9789811355851 |
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