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Optical Physics For Nanolithography

de Shinn-Sheng Yu e Anthony Yen
idioma: inglês
Editor: SPIE PRESS, maio de 2018 ‧
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Provides an in-depth, self-contained introduction of partially coherent imaging theory for researchers and engineers working on optical lithography for semiconductor manufacturing, including those in the EDA industry. It is mathematically complete: the opening chapters discuss the essential principles, and all derivations are presented with their intermediate steps.

Optical Physics For Nanolithography

de Shinn-Sheng Yu e Anthony Yen

Propriedade Descrição
ISBN: 9781510617377
Editor: SPIE PRESS
Data de Lançamento: maio de 2018
Idioma: Inglês
Dimensões: 152 x 229 x 20 mm
Encadernação: Capa mole
Páginas: 352
Tipo de produto: Livro
Coleção: Press Monographs
Classificação Temática: Livros em Inglês > Engenharia > Engenharia Geral
Livros em Inglês > Outros
EAN: 9781510617377