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Rapid Thermal Processing Of Semiconductors eBook

de Peter J. Hesketh e Victor E. Borisenko
idioma: inglês
Editor: SPRINGER US, novembro de 2013 ‧
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Ebook para ADE
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.

Rapid Thermal Processing Of Semiconductors

de Peter J. Hesketh e Victor E. Borisenko

Propriedade Descrição
ISBN: 9781489918048
Editor: SPRINGER US
Data de Lançamento: novembro de 2013
Idioma: Inglês
Tipo de produto: eBook
Formato e Compatibilidade: PDF para ADE
Coleção: Microdevices
Classificação Temática: eBooks em Inglês > Engenharia > Eletricidade e Energia
EAN: 9781489918048

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