Rapid Thermal Processing

Proceedings Of Symposium I On Rapid Thermal Processing Of The E-Mrs 1998 Spring Conference, Strasbourg, France, June 16-19, 1998

idioma: inglês
Editor: ELSEVIER SCIENCE & TECHNOLOGY, março de 1999 ‧
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Rapid Thermal Processing (RTP) is a well established single-wafer technology in USLI semiconductor manufacturing and electrical engineering, as well as in materials science. This work talks about Rapid Thermal Processing.

Rapid Thermal Processing

Proceedings Of Symposium I On Rapid Thermal Processing Of The E-Mrs 1998 Spring Conference, Strasbourg, France, June 16-19, 1998

Propriedade Descrição
ISBN: 9780080436128
Editor: ELSEVIER SCIENCE & TECHNOLOGY
Data de Lançamento: março de 1999
Idioma: Inglês
Encadernação: Capa dura
Páginas: 356
Tipo de produto: Livro
Coleção: European Materials Research Society Symposia Proceedings
Classificação Temática: Livros em Inglês > Engenharia > Engenharia Geral
EAN: 9780080436128