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Extreme Ultraviolet Lithography
idioma: inglês
Editor:
MCGRAW-HILL EDUCATION - EUROPE, maio de 2009 ‧
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SINOPSE
Offers the guidance to extreme ultraviolet lithography (EUVL), covering the scientific theory, processing methods, applications, and directions. Designed to help you optimize EUVL, this resource covers EUV lithography tools, EUV printer, EUV sources, multilayer EUV, EUV optics, as well as defect control, resist, and mask techniques.
DETALHES
| Propriedade | Descrição |
|---|---|
| ISBN: | 9780071549189 |
| Editor: | MCGRAW-HILL EDUCATION - EUROPE |
| Data de Lançamento: | maio de 2009 |
| Idioma: | Inglês |
| Encadernação: | Capa dura |
| Páginas: | 482 |
| Tipo de produto: | Livro |
| Classificação Temática: |
Livros em Inglês
>
Engenharia
>
Eletricidade e Energia
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| EAN: | 9780071549189 |
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